·准确而精密的量测范围,电流范围为 0.1 fA 至 1 A,电压范围为 0.5 µV 至 200 V
·支持单点和扫描量测功能
·脉冲单点和扫描量测,最小脉冲宽度达 500 µs
·自动感测与切换装置(ASU)可与 HRSMU 搭配使用,以便提供 0.1 fA 的量测分辨率和 SMU/AUX
路径切换
·在使用者 PC 上提供特性分析环境
·使用键盘和鼠标,进行直观式 GUI 界面操作
·提供多种量测模式(应用测试、典型测试和快速测试),以实现快速设定和量测执行
·图形显示和自动分析功能,可产生数据并导入 Excel 和图像,以便进行分析和报告
·可配置和可升级的量测模块,多达 8 个插槽
·可选择高分辨率 SMU(HRSMU)、中等功率 SMU(MPSMU)及高功率 SMU(HPSMU)进行
配置
·HRSMU 支援选配 ASU
·高分辨率与高速模拟数字转换器(ADC)对所有安装模块皆可用主机中配备主动接地单元(GNDU),以施加 0 V 电压并汲入高达 4 A 的电流