E5270B 精密型IV 分析儀

E5270B 精密型 IV 分析儀

Keysight E5270B 精密型 IV 分析儀是一款完整的解決方案，適用於各種材料和元件的電流電壓特性分析，具備出色的電流量測效能，可以量測最低 0.1 fA 的電流。

· 其模組化架構具備 8 個插槽，可滿足您配置或升級 SMU 模組的需求。

· 基於 GUI EasyEXPERT group+ 特性分析軟體，可安裝在您的 PC 上，以支援特性分析中要求的所有任

務，例如量測設定和資料分析。

產品功能

1

電流電壓（IV）量測功能

·準確而精密的量測範圍，電流範圍為 0.1 fA 至 1 A，電壓範圍為 0.5 µV 至 200 V
·支援單點和掃描量測功能
·脈衝單點和掃描量測，最小脈衝寬度達 500 µs
·自動感測與切換裝置（ASU）可與 HRSMU 搭配使用，以便提供 0.1 fA 的量測解析度和 SMU/AUX
路徑切換

2

EasyEXPERT group+ 軟體

·在使用者 PC 上提供特性分析環境
·使用鍵盤和滑鼠，進行直覺式 GUI 介面操作
·提供多種量測模式（應用測試、典型測試和快速測試），以實現快速設定和量測執行
·圖形顯示和自動分析功能，可產生資料並導入 Excel 和圖像，以便進行分析和報告

3

E5270B 硬體規格

·可配置和可升級的量測模組，多達 8 個插槽
·可選擇高解析度 SMU（HRSMU）、中等功率 SMU（MPSMU）及高功率 SMU（HPSMU）進行
配置。
·HRSMU 支援選配 ASU
·高解析度與高速類比數位轉換器（ADC）對所有安裝模組皆可用主機中配備主動接地單元（GNDU），以施加 0 V 電壓並汲入高達 4 A 的電流

產品與服務連結Keysight Data Sheet

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